高校微電子潔凈室安全管理前景

基于高校實驗室安全工作者“以人為本、安全第一、預防為主”的行為方針，旨在建立“健康、安全、環?！钡膶嶒炇铱蒲泻徒虒W工作環境，圍繞微電子學科潔凈實驗室的特點和相關法律法規，給出一系列潔凈室安全管理措施，以提升高校潔凈室的安全隱患防范水平和治理效能。

近年來歐美發達國家對我國微電子行業高舉制裁大棒，華為、中興等微電子高科技企業深受其害，我國堅決走上獨立自主地發展微電子產業的道路，讓我國微電子行業的關鍵技術、關鍵材料、關鍵人才、相關專利等都牢牢掌握在自己手中；微電子產業的發展并非一朝一夕，電子元器件的關鍵性尺寸（Critical Dimension）、缺陷（Defect）等都是微米級、納米級，所以要求本產業的工作環境都是高等級的無塵潔凈室。在這場微電子技術戰爭中，高校應當是技術創新和發展的重要陣地。

由于國家政策的支持、產業的需要，近些年很多大學紛紛成立了微電子學院，因此，高校能夠配套建設、利用并高效安全地管理高等級的無塵潔凈室，對人才培養方面能起到事半功倍的效果。本文結合筆者對所在實驗室微電子設備的管理，包括物理氣相沉積設備（PhysicalVapor Deposition, PVD）、化學氣相沉積設備（Che-mical Vapor Deposition, CVD）、光刻機、高溫氧化爐等，分析探討潔凈室安全管理方面的一些經驗，對高校潔凈室的使用提供一些有益的措施。